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| 【商品名称】：TG2U型光刻机 |
【联系电话】：010-51669522||13331091975 |
| 【生产厂家】：同志科技 |
【商品规格】：TG2U |
【商品简介】：
产品特点：
TG2U型光刻机是制造中，大规模集成电路，传感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻设备。
欢迎您联系我们获得光刻机(TG2U型)的更多信息。 |
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【备 注】：
TG2U型光刻机主要技术参数见下表：
项目 |
参数 |
适用的掩模尺寸 |
a.100X100X2－3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(选购)； |
适用的硅片尺寸 |
φ35—75mm |
光刻图形线条 |
3-4μm, 最细可达2μm |
掩模与硅片之间的相对位移范围 |
X/Y±2.5mm,(族转) ±6° |
承片台(硅片)绕主轴旋转 |
粗调360度,可微调 |
承片工作台综合移动范围 |
X,Y合成φ75mm |
承片台的球座平面至掩模板面升降 |
0—7.5mm |
曝光灯源 |
GCQ200W超高压汞灯，曝光波长，300―436nm |
曝光系统能量不低于 |
7mw |
曝光系统的照度均匀度在φ75mm范围内 |
±5％ |
显微镜的照明波长 |
≈545nm |
曝光时间控制范围 |
0.1秒—99分 |
双目显微镜的放大倍数 |
a.目镜共二种:10X,16X；b.平视场物镜共三种:6X,9X,15X；c.合成放大倍率:60X—240X； |
真空接触压力 |
≥0.7kgf |
装箱尺寸 |
1000X850X980mm(2只) |
装箱重量 |
200kg |
注：用户有何特殊要求可协商。 |
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